水蒸气发生器，通过精密计量泵控制进液量，通过相变汽化模块将液体先分散成液膜再进行换热转化成水蒸气

广州工业大学武汉大学上海交通大学华北电力大学广西大学天津大学中科院热物理研究所华中科技大学材料及钢铁腐蚀老化

1.通过控制面板设定和观察气化模块升温温度；2.储罐中的去离子水，通过恒流泵加入精密蒸发器中，去离子水得流量连续可调；3.精密蒸发器将液态水99%蒸发，并且保证蒸汽流量波动小于2%；4.过热蒸汽通过SUS316L管道通入流量控制器（选配）中，将高温水蒸气稳定输送到位置

使用寿命≥5年外形尺寸（可定制）240*290*240mm（依据汽化量变化）恒流高压双柱塞泵参数（50mL）(其他规格可定制)材质SS316L流速范围0.001～50mL/min输液结构双柱塞串联式电子压力脉动抑制流量准确度0.5%（4mL/min