通过控制面板设定和观察气化模块升温温度；2.储罐中的去离子水，通过恒流泵加入精密蒸发器中，去离子水得流量连续可调；3.精密蒸发器将液态水99%蒸发，并且保证蒸汽流量波动小于2%；4.过热蒸汽通过SUS316L管道通入流量控制器（选配）中，将高温水蒸气稳定输送到位置

使用环境：0～50℃,0～80%RH进气要求：压力＞0.1Mpa（无杂质）进水要求：蒸馏水或去离子水（超纯水）主要用于实验室产生流量可调、温度度可控的水蒸气，同样可做为液体的相变发生器，该产品内部器件采用全SUS304/316L材质，应用于气体加湿，材料合成，水热老化，材料的性能评价

一、产品概况该装置是由陶瓷反应器、氙灯光源发生器、加热炉、温控仪以及热电偶等器件组成

型号SG-01ASG-05ASG-10ASG-50A流量范围（可调）0